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品牌	昊量光電	產(chǎn)地類別	進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

超靈敏，納米級(jí)電容位移傳感器！

原理是利用力學(xué)變化使電容器中其中的一個(gè)參數(shù)發(fā)生變化的方法實(shí)現(xiàn)信號(hào)的變化的。電容位移傳感器由目標(biāo)和探針兩個(gè)傳感板組成電容器。當(dāng)電容器之間的距離發(fā)生改變時(shí)，電容器的電容量就會(huì)發(fā)生改變，使用適當(dāng)?shù)目刂破骶蜁?huì)測(cè)出兩個(gè)傳感板距離的變化。

納米級(jí)電容位移傳感器是非接觸式位置測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)由目標(biāo)和探針兩個(gè)傳感板組成電容器。當(dāng)電容器之間的距離發(fā)生改變時(shí)，電容器的電容量就會(huì)發(fā)生改變，使用適當(dāng)?shù)目刂破骶蜁?huì)測(cè)出兩個(gè)傳感板距離的變化。電容位移傳感器擁有高靈敏度分辨率可由于0.1nm，頻帶寬可達(dá)到10KHz，直線性可到達(dá)0.02%。由于傳感器是一種非接觸式的精密測(cè)量系統(tǒng)，因此還擁有無(wú)摩擦，無(wú)遲滯等特點(diǎn)。

電容位移傳感器因具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、功耗低、精度高、動(dòng)態(tài)性能好、頻帶寬、高穩(wěn)定性和非接觸測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)，在工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的電容位移傳感器主要包括以下幾款產(chǎn)品：

① AU-NX系列電容位移傳感器是基于電容測(cè)微原理的非接觸式的位移測(cè)量系統(tǒng)。該電容位移傳感器由目標(biāo)和探針兩個(gè)傳感板組成電容器。利用合適的控制器可測(cè)量?jī)蓚€(gè)電容板之間的距離，在1.25mm的行程中，分辨率可高達(dá)7pm。此外該位移傳感器具有很高的頻帶寬，可達(dá)到10KHz，線性度可達(dá)到0.02%。由于該電容位移傳感器為非接觸式精密測(cè)量系統(tǒng)，因此具有零遲滯、低功耗等優(yōu)點(diǎn)。此外該系列的位移傳感器可有鋁合金和不脹鋼兩種材質(zhì)。

②AU-NZ系列位移傳感器的工作原理與AU-NZ系列的相同。它們的主要區(qū)別在工藝和材質(zhì)上不同。AU-NZ電容位移傳感器采用微晶陶瓷和張脹鋼材質(zhì)，并且沒(méi)有粘合劑。這使其擁有熱穩(wěn)定性，適合低溫使用。

③大量程電容位移傳感器，主要包括AU-NCG-1-AL-UHV，該高分辨率位移傳感器為嚴(yán)苛環(huán)境條件下設(shè)計(jì)，工作溫度范圍可以從-200℃到+150℃。采用鍍金陶瓷電容板，行程可達(dá)到11000微米，且分辨率可達(dá)到0.12微米。在極大的行程中仍然可以保持較好測(cè)直線性，線性度可達(dá)到0.4%。

主要特點(diǎn)
大行程（11mm）
高分辨率（0.1nm）
高熱穩(wěn)定性
高直線性（0.02%）
零遲滯
高頻帶寬度（10KHz）
低功耗
操作溫度范圍大（-200~+150℃）

主要應(yīng)用
精密制造、計(jì)量、形變測(cè)量、平臺(tái)控制、材料測(cè)試、顯微鏡、能動(dòng)光學(xué)、精密光束控制等。

主要參數(shù)

型號(hào) 參數(shù)		AU-NX				AU-NZ
		AU-NXB		AU-NXC	AU-NXD	AU-NZB	AU-NZC	AU-NZD
Active area（mm2）		22.5		113	282	22.5	113	282
Material		Aluminium / Super Invar				Zerodur / Super Inva
Thermal drift (nmK-1)		Aluminium 230 Super Invar 3				1.5
Short range-S(10pF)	Range	20mm		100mm	250mm	20mm	100mm	250mm
	Noise	<0.001		<0.005	<0.013	<0.001	<0.005	<0.013
	Linearity error(%)	<0.08		<0.05	<0.06	<0.08	<0.05	<0.06
Long range –L (2pF)	Range(mm)	100		500	1250	100	500	1250
	Noise	<0.015		<0.075	<0.188	<0.015	<0.075	<0.188
	Linearity error(%)	<0.08		<0.03	<0.06	<0.08	<0.03	<0.06
Operating temperature	Controller	+10 to +50 ℃				+10 to +50 ℃
	Sensor	-273 to +100 ℃				-273 to +100 ℃

型號(hào) 參數(shù)			AU-NCG-1-AL- UHV
Materials			Aluminium housing with gold plated alumina (ceramic) sensors
Sensor range			11mm
Position noise (rms)			120nm
Uncompensated linearity			0.4%
Probe area			2500mm2
Operating temperature			-200 to +150 ℃

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關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、光學(xué)元件等，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國(guó)防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝，培訓(xùn)，硬件開(kāi)發(fā)，軟件開(kāi)發(fā)，系統(tǒng)集成等服務(wù)。

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納米級(jí)電容位移傳感器

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