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紫外波前傳感器(波前分析儀)

簡(jiǎn)要描述:SID4-UV 紫外波前傳感器(波前分析儀)與其光束分析軟件相結(jié)合,可提供完整的激光診斷:波前像差、強(qiáng)度分布、激光光束質(zhì)量參數(shù)(M2、束腰尺寸和位置等)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):SID4-UV
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2021-12-21
  • 訪  問(wèn)  量:1898
詳細(xì)介紹
品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,綜合
SID4-UV250 x 250超高相位取樣分辨率

SID4-UV 紫外波前傳感器(波前分析儀)


SID4-UV波前分析儀簡(jiǎn)介

隨著光波波前探測(cè)技術(shù)的發(fā)展,各種波前傳感器應(yīng)運(yùn)而生。從測(cè)量原理上可以分成兩類:一類是根據(jù)幾何光學(xué)原理,測(cè)定波前幾何像差或面型誤差,主要有Shack-Hartmann 波前傳感器,曲率傳感器和Pyramid 波前傳感器等;另一類是基于干涉測(cè)量原理,探測(cè)波前不同部分的干涉性,來(lái)獲取波前信息,主要有剪切干涉儀波前傳感器和相位獲取傳感器等。剪切干涉儀波前傳感器不需要精確的參考標(biāo)準(zhǔn)鏡;它們結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,抗干擾能力強(qiáng),條紋穩(wěn)定。SID4-UV波前分析儀是測(cè)量光學(xué)元件和光束波前質(zhì)量的一種很好的替代傳統(tǒng)干涉儀的方法。SID4-UV波前分析儀作為低可至波長(zhǎng)250 nm的高分辨率波前傳感器,SID4-UV波前分析儀非常適合于紫外光學(xué)測(cè)量,包括用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征,以及透鏡和晶圓的表面面型檢測(cè)。


【關(guān)于Phasics】

Phasics是一家專注于高分辨率波前傳感技術(shù)的法國(guó)公司。Phasics公司憑借其在測(cè)量方面的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)與*的波前測(cè)量技術(shù)為客戶提供全面的高性能波前傳感器。


一、 SID4-UV 紫外波前傳感器(波前分析儀)主要特點(diǎn)

  • 250 x 250超高相位取樣分辨率

  • 2 nm RMS高相位靈敏度

  • 紫外波段波前測(cè)量的通用解決方案

               

                                非準(zhǔn)直光入射                                                                                                      消色差


二、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀產(chǎn)品應(yīng)用


  • 波前像差測(cè)量

基于四波剪切技術(shù),Phasics 的波前傳感器同時(shí)提供具有高分辨率的相位和強(qiáng)度測(cè)量。 波前傳感器與其光束分析軟件相結(jié)合,可提供完整的激光診斷:波前像差、強(qiáng)度分布、激光光束質(zhì)量參數(shù)(M2、束腰尺寸和位置等)。Phasics 的波前分析儀可以放置在光學(xué)裝置的任何一點(diǎn),無(wú)論光束是準(zhǔn)直的還是發(fā)散的。作為低可至波長(zhǎng)250 nm的高分辨率波前傳感器,SID4-UV非常適合于紫外光學(xué)測(cè)量,包括用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征,以及透鏡和晶圓的表面面型檢測(cè)。


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  • MTF測(cè)量

SID4系列波前傳感器可以配合用戶自行搭建的光路系統(tǒng)進(jìn)行像質(zhì)評(píng)價(jià),只需一次直接拍攝,就可以通過(guò)軟件后處理測(cè)量參數(shù)(PSF, MTF, Zernike系數(shù))。如果不能自行搭建光路系統(tǒng),也可以進(jìn)一步了解Kaleo Kit 套裝等產(chǎn)品測(cè)量MTF等產(chǎn)品。


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三、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀應(yīng)用領(lǐng)域

紫外光學(xué)測(cè)量| 光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征| 透鏡和晶圓的表面面型檢測(cè)| 自適應(yīng)光學(xué)| 等離子體密度


四、SID4-UV波前分析有/波前傳感器主要規(guī)格

波長(zhǎng)范圍

250-400nm
靶面尺寸7.4 x 7.4 mm2
空間分辨率29.6 µm
取樣分辨率250 x 250
相位分辨率2 nm RMS
絕對(duì)精度10 nm RMS
采集速率30 fps
實(shí)時(shí)處理速度 > 2 fps (全分辨率下)


五、與夏克-哈特曼波前傳感器對(duì)比

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六、更多參數(shù)選型


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