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可定制氣體軸承線性位移臺

簡要描述:LT系列位移平臺采用經(jīng)過特殊設(shè)計(jì)的空氣軸承,該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進(jìn)行了優(yōu)化。與傳統(tǒng)的軸承相比,采用氣體為潤滑劑,因此所有運(yùn)動(dòng)都是無接觸的,因此在整個(gè)使用壽命之內(nèi),設(shè)備的性能保持不變,并且無需進(jìn)行特殊維護(hù)??啥ㄖ茪怏w軸承線性位移臺

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2021-06-02
  • 訪  問  量:1999
詳細(xì)介紹
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可定制氣體軸承線性位移臺

  • 產(chǎn)品圖片

大行程,高重復(fù)精度氣體軸承位移臺!

所屬類別:光機(jī)產(chǎn)品/精密定位控制系統(tǒng) » 電動(dòng)平移臺

可定制氣體軸承線性位移臺

 

LT系列位移平臺采用經(jīng)過特殊設(shè)計(jì)的空氣軸承,該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進(jìn)行了優(yōu)化。與傳統(tǒng)的軸承相比,采用氣體為潤滑劑,因此所有運(yùn)動(dòng)都是無接觸的,因此在整個(gè)使用壽命之內(nèi),設(shè)備的性能保持不變,并且無需進(jìn)行特殊維護(hù)。此外位移平臺采用直線電機(jī)直接驅(qū)動(dòng),無須螺桿或齒輪進(jìn)行傳動(dòng)實(shí)現(xiàn)了非常平滑的無干擾的高精度的運(yùn)動(dòng)。通過使用天然大理石為平移臺移動(dòng)的桌面,可以實(shí)現(xiàn)非常高的重復(fù)定位精度。從而使位移平臺擁有極低的俯仰、偏擺、滾動(dòng)、偏航和線性誤差。

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的空氣軸承位移平臺可提供從200mm-1500mm不同行程的平臺,在可提供大行程的同時(shí),精度可達(dá)到300nm,平移臺擁有優(yōu)異的分辨率,重復(fù)精度可達(dá)到100nm。

 

此外提供高精度的復(fù)雜運(yùn)動(dòng)和定位方案:

提供不同應(yīng)用中需要的定位平臺、控制器和相關(guān)軟件

 

Ø整體解決方案

 Ø定制化解決方案 

Ø復(fù)雜的多軸與并聯(lián)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng) 

Ø超精密空氣與機(jī)械軸承

Ø軟件集成:: LABVIEW, Tango, Epics……

 

產(chǎn)品特點(diǎn):

l   優(yōu)異的重復(fù)精度

l   超大行程

l   采用空氣軸承,無需維護(hù)

l   可按客戶要求進(jìn)行定制

 

主要應(yīng)用

l   高性能掃描

l   光學(xué)檢測系統(tǒng)

l   超精密研磨和切削

l   光伏系統(tǒng)

l   醫(yī)療系統(tǒng)

l   同步輻射或X射線

l   激光加工

l   半導(dǎo)體行業(yè)

l   晶體處理

 

產(chǎn)品參數(shù):

 

 

Units

LS100

LS200

LS300

LS400

LS500

LS1000

LS1500

travel

mm

100

200

300

400

500

1000

1500

load capacity

kg

>65

>65

>65

>65

>65

>65

>65

accuracy

μm

±0.3

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±1.0

±1.0

repeatability

μm

±0.1

±0.15

±0.15

±0.2

±0.2

±0.4

±0.4

flatness

μm

±0.2

±0.4

±0.5

±1

±1.5

±3

±5

pitch

μrad

±4

±8

±12

±13

±14

±29

±39

roll

μrad

±4

±8

±12

±13

±14

±29

±39

yaw

μrad

±4

±8

±12

±13

±14

±29

±39

 

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